MEMSセンサ技術および、センサネットワーク技術を含めたセンサ関連技術に関する研究者が毎年集う世界的な会議であり、センサネットワークに関連する発表が最も多い国際会議である。本会議において、グリーンMEMSセンサ、グリーンセンサ端末およびグリーンセンサネットワークシステム技術関連の情報収集を行い、特に本プロジェクトの研究開発項目③「グリーンセンサネットワークシステムの構築と実証開発」の研究開発に寄与できる有益な情報が得られた。
◆Fraunhofer IZM 訪問(ドイツ)
ASSID(ドレスデン)において、同支所責任者のJ.T.Wolf 氏と、300mmSi 集積化プロセスに関して意見交換をし、本プロジェクトの研究開発項目②「無線通信機能および自立電源機能を搭載したグリーンセンサ端末の開発」におけるグリーンセンサ端末機能集積化技術、特に300mm ウェハTSV 技術およびウェハレベル集積化技術に関し、大変有益な情報を得ることができた。
(つくば研究センター長 伊藤寿浩)