MEMS技術に関する世界最大級の国際学会である、MEMS2014に参加してきました。
（2014/1/26～30、 http://www.mems2014.org/ ）
学会には約750名が参加。投稿数も2012年に続く過去２番目と、非常に活気のある学会でした。
私は、ポスター発表で赤外線センサに関する技術成果を発表。省エネ向け人感センサ向けに最適化された、①サーモパイル式赤外線センサ素子構造設計（S字型）、②低コストと高感度を両立するためのウェハレベル真空封止構造、を中心に発表を行いました。
ポスター発表では、人検知のデモ動画も利用した発表を行うことで、今回の成果を十分に伝えられました。
オムロン株式会社 田中純一
