DTIP2013参加その２

グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクトのうち、研究開発項目①「グリーンMEMSセンサの開発」に関連した研究発表及び、本プロジェクトに関係した技術の情報収集を行い、今後の研究へ反映することを目的としてDTIP２０１３へ参加した。

「Measurement of an airflow velocity change using a cantilever with Pb(Zr, Ti)O3」と題して、塵埃センサに搭載予定のトリガーセンサに関する発表を行った。

報告者が注目した発表について詳細を報告する。
タイトル：Pyroelectric PZT sensors screen printed on glass
本発表は、スクリーン印刷で成膜したPZTを用いた焦電センサに関する発表である。スクリーン印刷は数十μmの厚い膜を成膜することができる技術である。本発表では、アニールの温度や得られたセンサの特性の評価結果について報告されている。得られた膜の焦電係数は６７μC/m2kと低い値であったが、焼成温度を高くすることで改善が可能である。また、作製されたデバイスは周囲の温度変化に追随した信号出し、焦電センサとして機能することが確認された。焦電型のセンサは、原理的には電力を使わずに温度変化を検出することができ、省電力が必要とされる無線センサ端末には適したセンサといえる。
本発表で使用されているスクリーン印刷技術は、厚膜のPZTを成膜するには優れた技術であり、今後が期待される技術である。






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