PowerMEMS 2013 参加報告その３

　国際学会PowerMEMS2013（12/3-6）に参加しました。会議の背景は先の二人が記述済みなので、そちらをご参照ください。
　開催地は英国でした。英国といえば、デヴィッド・ボウイ、アーサー・C・クラーク、カズオ・イシグロとクリストファー・プリーストですが、もちろん文学的探究が目的ではありません。今回は、つくば研究センターで遂行中の圧電デバイス開発に関する成果報告と、最新の技術動向の調査を行うため、本会議に参加しました。

　成果発表について、私は会議３日目に口頭発表を行いました。発表の概要は次の通りです。省エネルギーに資するセンサ網へと応用される、圧電薄膜デバイスのための量産技術の開発を行いました。大口径(200 mm) SOIウェハを用いてユニモルフ圧電振動発電デバイスを試作し、圧電特性を評価しました。双極性パルス分極法による発電量の向上について分析しました。
　以上の発表について、圧電特性の向上のための分極処理における支配的な因子はどれかや、他の因子を検討しているか、などの質問があり、当該技術への関心の高さが確認できました。研究の動機が高まり、また嬉しさを感じました。発表のあとに、このように自分の研究に関心をもって話をしてもらえるのは技術者の喜びと思います。

　会議全体に対する感想について。とくに環境発電素子に関する発表を注意深く聞きましたが、素子自体の改良は落ち着きつつある印象を受けました。電力をどのように貯めて、効率よく使うのか、という回路の研究へ比重が移りつつあるようです。

　また個人的に興味深かった発表として、STMicroelectronics（France）のStephane Monfray氏より、CMOSコンパチな技術で作製する熱-機械-電気変換素子に関する発表がありました。パッケージングまで含めた総コストを低くできることが売りであり、またこの技術戦略は同社の得意なやり方であります。その産業的可能性に興味を引かれましたし、自身の企業の哲学に基づいた研究で格好いいなと感じました。

開催場所The Royal Societyは英国科学の殿堂なので

有名人の写真や肖像画がたくさん掛けてあります

（さてこの方々は誰でしょう？）

口頭発表中の筆者

発表のあとの食事は格別です

つくば研究センター　森脇 政仁