グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクトBLOG: ＭＮＥ２０１２参加

　38nd International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2012)が、9月16日から20日まで、フランス・トゥールーズのピエールバーディスコングレスセンターで開催された。MNEはマイクロプロセス・ナノテクノロジーの国際学会として、日本のMN、米国EIPBNシンポジウムと共に最先端・最新研究が多く投稿される学会である。

　今年の会議は15日時点で、参加登録数が597名（参加者が多い順にフランス：104名、ドイツ：83名、日本：82名）と発表があった。参加者数の点で言うと2年前に参加したMNE2010とそれほど減少していなかった。日本からは研究・販売拠点を有する日本の大手装置メーカからの参加者が数多く見受けられた。彼らの話によると、この学会をEUの顧客とのユーザミーテイングの場にしているとのことである。また、彼らによると、半導体産業での市場拡大が難しいので、センサ、バイオ分野への展開を模索しているとのことである。プログラムは、１．マイクロ・ナノリソグラフィ（127件）、２．マイクロ・ナノファブリケーション（215件）、３．マイクロ・ナノシステム・デバイス（118件）、４．バイオ・医学・化学用マイクロ・ナノファブリケーション（150件）の４つのカテゴリに分かれていた。（括弧の数字は提出されたアブストラクト数）。

　MEMS・センサに関する発表としては、2010年のMNEではナノワイヤーを使ったガスセンサの製造プロセスに関するものが見られたが、今回は影を潜め、バイオセンサ、マイクロ流路に関する発表が主流であった。また、EB装置にMEMSを使うという発表が２件ほどあり、マルチビームをMEMSで制御するのかと期待したが、内容的にはMEMSプロセスを光学系の部品を作成したというものであった。リソグラフィに関しては、ナノインプリントの発表が大半を占めていた。これまでは、半導体デバイスの微細加工用途への期待もあり、300mm装置・プロセスの開発に関する発表が数多く見られたが、今回はそのような発表はなく、例えば大面積のフレキシブル基板(PETフィルム)にロールtoロールで100nm以下の3D構造を高速(1m/min)で作製するプロセスのように、有機半導体、TFT部材加工の発表が目立っていた。それ以外では、2光子励起によるマイクロ加工を300mmウエハで行う発表があった。まだ研究室で部品を集めてマルチビームシステムを作ったようなので、今後、そのような高速造形システムが装置化されて、低コストの加工プロセスとしてなりうるか注目していきたい。

　我々のプロジェクトでもフレキシブル基板上に配線加工、機能集積化することが最終目標であることから、引き続き大面積の高速ナノインプリント技術、材料の開発動向の把握に努めていきたい。

（逆水登志夫＠NMEMS技術研究機構）