MEMS2012（Jan.30-Feb.2,2012
パリ）

◆MEMS2012
MEMS国際会議は、MEMSセンサ技術およびMEMS製造集積化技術を含めたMEMS関連技術に関する研究者が毎年集う世界的な会議であり、MEMS分野では最も権威とクオリティが高い国際会議と言われている。本会議において、グリーンMEMSセンサ、グリーンセンサ端末技術関連の情報収集を行った。

センサネットワーク関連では、MEMS技術を用いた自立電源（Power MEMS）に関するもの（例えばも相当数あり、非接触電流センサ（A
FLEXIBLE, NON-INTRUSIVE POWER SENSOR TAG FOR THE ELECTRICITY MONITIORING OF
TWO-WIRE HOUSEHOLD APPLIANCES，台湾精華大学とITRIのグループ）やガスセンサに関する発表、あるいは１０種のセンシング機能を１チップに集積化したもの（MULTI-FUNCTIONAL INTEGRATED SENSORS FOR THE ENVIRONMENT，米スタンフォード大とヒューレッドパッカードのグループ）もあり、全体的には特にポスターセッションにおいて、グリーンMEMSセンサおよびグリーンセンサ端末用自立電源に関し、有益な情報を得ることができた。
（つくば研究センター長　伊藤　寿浩）