Leti訪問(フランス) MEMS2012

Leti（グルノーブル）で、S Fanget氏および G. Le Rhun氏と圧電MEMSに関しての意見交換を行い、そのあとクリーンルームの見学をさせていただきました。S Fanget氏および G. Le Rhun氏との意見交換では、本プロジェクトの研究開発項目①「グリーンMEMSセンサの開発」における塵埃センサに組み込む予定のトリガーセンサに使用する圧電MEMS技術に関して、大変有益な情報を得ることができました。

MEMS2012
MEMS関連技術の研究者が集うMEMSにおける世界最大かつ権威のある国際会議である本会議においてグリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクトに関連した研究や技術の情報収集を行い、今後の研究へ反映することを目的として、MEMS2012へ参加してきました。
気になった発表がいくつかありましたが、その中の一つは以下のような発表でした。
タイトル：A NOVEL ELECTROMECHANICAL INTERROGATION SCHEME FOR IMPLANTABLE PASSIVE TRANSPONDERS
発表者：A. Kim, T. Maleki, and B. Ziaie　（Purdue University, USA）
内容：
機械的振動による発電と無線送信と２つの機能を持ったトランスポンダーの発表でした。デバイス構成は音響振動を電力に変換するためのPZTのカンチレバー、整流回路、蓄電用のキャパシタ、電磁誘導式圧力センサのコイルおよび無線送信用アンテナの両方の機能を持つコイル、PDMSのメンブレンに取り付けられたフェライトコア。動作はPZTのカンチレバーをスピーカーから流れる音楽によって振動させ、発電した電力をキャパシタに蓄電し、その電力を使って受信機に無線を送信する。この時、圧力の変化によってPDMSのメンブレンに取り付けられたフェライトコアとコイルの間隔が変調を受けて、インダクタンスが変化し、送信信号の周波数が変調されるというものでした。本講演は、センサー、エナジーハーベスト、および無線通信に関するものであり、本プロジェクトにおける研究開発のうち、特に研究開発項目①「グリーンMEMSセンサ」、②「無線通信機能及び自立電源機能を搭載したグリーンセンサ端末の開発」に関して有益な情報を得ることができる発表でした。

つくば研究センター　富松