2013 Joint UFFC EFTF and PFM symposiumはIEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Society (UFFC)、International Frequency Control Symposium – European Frequency and Time Forum (IFCS–EFTF)、International Symposium on the Applications of Ferroelectrics – Piezoresponse Force Microscopy Workshop (ISAF–PFM)の合同シンポジウムです。強誘電体や圧電体に関する国際学会で、7/21～25を会期としてチェコのプラハで開催されました。
研究開発項目①「グリーンMEMSセンサの開発」に関連した研究発表及び、本プロジェクトに関係した技術の情報収集を行い、今後の研究へ反映することを目的として2013 Joint UFFC EFTF and PFM symposiumへ参加しました。
エナジーハーベスターではPZTの発表が、多く見られました。その一方で、EPFLのMuralt先生はPZTとともにAlScN薄膜にについて報告されていました。AlNのAlの一部をScに置換することで高い圧電定数を得ることができ、かつ誘電率はゆるやかな増加にとどまるこということで、エナジーハーベスターへの応用が期待されるということでした。我々のセンサもAlScNを使用することで、高感度化が期待できます。
つくば研究センター 富松
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