Electronics Goes Green 2012+へ参加

　2012年9月9-12日ベルリンで開催されたElectronics Goes Green 2012+にて「スマートコンビニ」に関する研究成果を発表した。これは、電子・電気業界の「環境技術」に関する会議であり、2000年より4年に一度（オリンピックの開催年）行われている。Fraunhofer IZM主体となり、CARE（Comprehensive Approach for the Recycling and Eco-efficiency of Electronics)　Innovation (これも4年に一度、サッカーワールドカップの年にウイーンで開催） 、IEEE　ISSST（USA)およびEcoDesign　（日本）と協力して会議を開催している。
　本年度は、従来とは場所を変え、ベルリンの南西部に位置するダーレムのSEMINALCAMPUS　HOTELで開催された。保養所や別荘地が多い、のんびりした雰囲気の地域であった。
約200件の講演（ポスターも含む）と展示会が併設されていた。3日目の午前中に、「Power Monitoring using Wireless Sensor Nodes as an Effective Contribution to Power Saving in Convenience Stores」と題して25分の発表を行った。コンビニはヨーロッパではなじみが少ないので、マクロな知見、「「無線」と「省エネ」技術の普及には、「お手入れ型」研究手法が必要である」という点を主張しておいた。導入コストおよび経済的メリットに関する質問が多かったが、「お手入れ型」研究について関心をもったマスメディアもいた。
　この会議の特長は、「法規制」「リサイクル」および「電子・電気業界」の３つのキーワード で表される。エネルギー関連の講演数は最近増えているが、ＩＴおよびデータセンタのグリーン化に集中する傾向が見られる。今回のプロジェクト関連では、「熱発電を用いた自立型無線センサによる機械の状態のモニタリング」の展示や発表（Fraunhofer IZM）が最も興味深かった。

ゴミで出来た「芸術？」

会場の中庭

NMEMS　藤本

EUROSENSORS2012参加

EUROSENSORSはMEMS分野のセンサに関する研究者が集うヨーロッパ随一の国際学会である。今回は9/10-12の3日間、ポーランドのクラクフで開催された。学会では300件ほどの研究成果が報告され、私も1件のポスター報告を担当した。私は今回、学会に参加する研究者に相談したい案件があったためポスター発表を行なった。2日目の午後に1時間30分間ほど時間をいただき延べ15人ほどの研究者と議論を交わした。結果、もちろん誰もやったことのないことをやっているので相談した案件に対する解決策の提示はないが、次の仮説を立て・検証を行なうために十分なヒントが得られた。

さらに、研究者との議論および研究報告の聴講で今後の検証の優先順を再設定することもできた。開発しているセンサの温度特性検証の優先度を上げるべきであることに気づいた。フィジカルセンサ等の場合、真空・窒素封止などで逃げるすべはあるかもしれないが環境雰囲気に暴露するガスセンサはそうはいかない。ガスセンサの開発を成功させるためには温度による特性の変化の補償は避けては通れない問題である。例えば、初日の午前の口頭発表ではSAW型ガスセンサの温度特性に関する報告があった。彼らはSAW型ガスセンサ（原理：フェーズシフト）により、H2のセンシングに成功したというすばらしい内容であったが、一方で特性変化に問題を抱えているようである。我々のセンサとは原理もターゲットガスもことなるが注目すべき発表である。

議論を交わした研究者のうち3名から、次の成果が出たら教えて欲しいとのメッセージと名刺をいただいた。期待していただいている研究者の気持ちにこたえるため、また一日でも早く工場の電力消費量低減に貢献できるように、今後も真摯に低消費電力コンパクトVOCセンサの開発に取り組みます。

NMEMSつくば　白石



学会会場：クラクフオペラ



第1回グリーンセンサ・ネットワークプロジェクト成果報告会開催

　本プロジェクトの第一回成果報告会（主催：（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）/技術研究組合NMEMS技術研究機構）が7月11日(水)に東京ビックサイト東２ホール内特設会場Bにて開催されました。

　オープニングでは、(独）新エネルギー・産業技術総合開発機構　技術開発推進部久木田部長から主催者挨拶が行われ、センサ技術を核としてシステム化・実証して、世の中に見せていくことが重要と発言がありました。次に、本プロジェクトのプロジェクトリーダである産総研集積マイクロシステム研究センター前田センター長から「グリーンセンサ・ネットワークシステムプロジェクトの概要」と題して、プロジェクトの目標・体制・２３年度成果概要、安心・安全ネットワークへの展開について紹介がありました。

　引き続いて、成果報告のセッションに入り、最初のセッションの省エネに寄与するグリーンセンサ・ネットワークシステムの構築と実証実験では、スマートコンビニ、スマートオフィス、およびスマートファクトリのためのネットワークシステムの開発、次のセッションの小型・低消費電力を実現するグリーンMEMSセンサの開発では、電流・磁界センサ、塵埃センサ、ＣＯ２センサ、ＶＯＣセンサ、および赤外線アレーセンサの開発、最後のセッションのグリーンMEMSセンサ端末・コンセントレータの開発では、自立電源、ＬＳＩ、機能集積化、およびコンセントレータの開発の成果について各テーマの開発担当者から報告が行われました。

　200人ほどが入る会場がほぼ満席となり、発表を聞いてからＮＭＥＭＳのブースに各テーマのパネル・展示物を見に来る来訪者も多く、成果発表会の成果詳細等を議論する場として、こちらも大いに盛り上がりを見せていました。今後も、省エネ革新的技術と期待される、本プロジェクトの研究成果を分かりやすく発信していきたいと思います。

（逆水＠NMEMS技術研究機構） 

 

MIPE2012参加

MIPE2012（2012 ASME-ISPS / JSME-IIP Joint International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment）はマイクロメカトロニクス技術に関する研究者が集う日米機械学会合同の国際会議である。今回は6/18-20の3日間、アメリカのサンタクララ大学で開催された。会議では約140件のプレゼンテーションが行われ、私も1件のプレゼンを担当した。

　GSN-PJで私は、工場の電力消費量低減をターゲットとした低消費電力コンパクトVOCセンサの開発に取り組んでいる。今回のプレゼンは本PJと我々のテーマの目的の紹介および23年度の開発成果の報告である。本PJの研究者として始めての学会参加であり少々の不安があったが、うなずきながら聴いてくださる研究者も多く（学会中日の午後最初のプレゼンという利もあったが）我々の目指すものに賛同していただけたことが判った。我々のセンサの特徴はポリマーで作られている点である。研究者の技術的な興味はポリマーが振動式センサの材料として適用可能なのかという点であり質問にもそれが現れていたが、プレゼンおよび質問に対する回答を通してポリマーが振動式センサの材料として適用可能であることを伝えられた。

　一日でも早く工場の電力消費量低減に貢献できるように、また多くの研究者に興味をもっていただける開発成果を継続して出すために、今後も真摯に低消費電力コンパクトVOCセンサの開発に取り組みます。

NMEMSつくば　白石

サンタクララ大学

DTIP2012に出席して

DTIP（Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS）は、1999年のパリでの第１回開催から数えて１４回目を迎えるが、IEEE CPMTが共催していることからもわかるように、もともとはMEMSの集積化・実装に力点を置いた国際シンポジウムであると理解している。今回は開催場所がカンヌ・コートダジュールということで、周辺からは「（本当は）何しに行くのか」と随分うらやましがられたし、参加を勧誘したドイツの知り合いからは「場所が良すぎるからと上司が出張を許可してくれない」という返事があった（おかげで彼の論文を代読すること破目になった）。しかし、出席してみると実際にはこの時期（開催は４月２５－２７日）のカンヌはある意味大変会議に向いた場所である。というのも、まず町がコンパクトでいわゆる観光スポットのようなところは皆無であり（黒沢明監督の手形くらいか？）、たとえ町をぶらぶらしても、ものの２～３時間もあれば事足りてしまうし、売りのビーチもまださすがに早い。というわけで南仏の太陽の下、缶詰状態で会議に参加したわけであるが、ここではMEMS国際会議（以下MEMS）と比較も交えながら、出張報告をしたいと思う。

規模で言えば、DTIPはMEMSに比べ発表件数で1/4程度、出席者数では1/7～1/8であり、非常にコンパクトでアットホームな会議である。冒頭に述べたように、DTIPがMEMSの集積化・実装に重きを置いた会議であることを考えれば、ある意味順当な規模とも言える。MEMSは採択率が30%以下という異常に人気の高い学会であるが、この低い採択率を勝ち抜くためには新奇かつ斬新なアイデアが必須であり、実装分野の研究やMEMSデバイス・加工技術が多くの技術要素の一つまたは一部であるような、GSNプロジェクトのようなシステム系の研究は旗色が悪い。そういう意味でいわゆる渋いテーマを扱うDTIPはある意味で貴重な存在である。ところで、MEMSの集積化・実装をめぐる議論は10年以上前から本質的には変わっていないと感じている。“実装はしばしば製造コストの大部分を占めることになりかねず”、それ故“実装はデバイス設計時から一緒に考えなければいけない”と言われているわけであるが、今回の招待講演で講演したスタンフォードのKenny教授をはじめ、何人かの著名なMEMS研究者が述べてきたように、「論文が書きにくい渋いテーマなので大学（や研究所）で研究テーマとして取り上げられない」こともあって、学会の議論としては堂々巡りの感がある。ただし、この会議に出席して、ここ５年でビジネスの世界では、この議論に終止符が打たれたのかもしれないとの認識をもった。主にコスト的な要因で「回路を一体的に形成するモノリシックMEMSはコンシューマー用途には向いておらず、回路は別につくり半導体実装技術で集積化するハイブリッドMEMSが現実的である」ので、「MEMSの実装技術は、いかに機械構造体を守る蓋を形成するかに絞られる」が、「多くの場合接合で蓋をするのは高コストであるので、モノリシック的に蓋を形成できるのが良い」ということのようである。もちろんこれはSi-MEMSの世界の話であるが、会議で比較的多くの発表があったポリマーMEMSやフレキシブル基板上のMEMSについても、実用化を考える以上、同様の考え方をすべきであろうが、半導体実装技術が適用できるかという観点での検討は未だ不十分との印象を持った。

GSNプロジェクトは、開発したMEMSデバイス（グリーンMEMSセンサ）の端末（ノード）への搭載、さらには端末を使ったネットワークシステムによる実証まで想定している以上、デバイスの開発段階で、ハード的にもソフト的にも“実装”を考慮せざるを得ないプロジェクトである。まさに、長年示唆されてきたように、デバイス設計段階で実装も検討しているわけである。会議に参加して様々な技術の話を勉強しながら、GSNプロジェクトは、新しいMEMSの（実装・集積化）研究としても、貴重かつ重要な取組みであると改めて確信できた。技術内容調査はもとより、そういう意味でも、実り多い調査であった。


（つくば研究センター長　伊藤 寿浩）

dMEMS2012参加報告

フランスのブザンソンで、開催されたdMEMS2012に参加してきました。
ワークショップの詳細はすでに報告されているので、気になった講演について報告します。

二日目のkeynote talkはMEMSのマーケットとMEMSのアプリケーションについての講演でした。
その中で、MEMSのホットはアプリケーションとしてセンサーネットワークの話が出ており、センサーネットワークの可能性、エネルギーハーベスティング、そしてマーケットについての話を聴き、本プロジェクトの重要性を再確認しました。また、その他の発表からも多くの有益な技術情報を得ることができました。


つくば研究センター　富松

dMEMS2012参加

 

　dMEMS2012（2nd Workshop on design, control and software implementation distributed MEMS）は、2010年に１回目が開催され、今年で２回目となる国際ワークショップです。

 

　フランスのブザンソンに７カ国の研究者が集い、２日間で３件の基調講演と１３件の研究発表が行われました。今回の採択率は５５％で、主に設計理論に関する発表が多く見られました。

 

　基調講演では、EPFLのAdrian M. Ionescu氏が“Guardian Angels for a Smarter Life ~Zero-Power Technologies~”と題し、環境・健康などをターゲットにしたヨーロッパでのデバイス・センサネットワーク開発プロジェクトの取り組みが紹介されました。まさにヨーロッパ版NMEMSであり、大きな刺激を受けることが出来ました。また、その他の発表からも多くの有益な技術情報を得ることができました。

（分散研　植木真治）

 

 

会場となったFort Griffon